研發(fā)用晶圓曝光系統(tǒng)

新設(shè)備：研發(fā)用晶圓曝光系統(tǒng)（掩模對(duì)準(zhǔn)器）；制造商：日本制造商，概述：研究開發(fā)，到小批量生產(chǎn)為止可以對(duì)應(yīng)多種用途、選擇硬接

2023-10-11

晶圓曝光系統(tǒng)

新設(shè)備：晶圓曝光系統(tǒng)（掩模對(duì)準(zhǔn)器）；制造商：日本制造商，概要:采用為高清晰曝光優(yōu)化的獨(dú)特UV光學(xué)系統(tǒng)和可高精度平行化光掩模和

2023-10-11

液晶注入裝置

新設(shè)備：液晶注入裝置；制造商：日本制造商，簡(jiǎn)介：貼片式液晶注入裝置介紹：貼片式液晶注入裝置。根據(jù)面板尺寸、處理量的不同提

2023-09-19

300mm大批量立式爐VF-5700

新設(shè)備：300mm大批量立式爐VF-5700；制造商：日本制造商，簡(jiǎn)介：Si-IGBT用的數(shù)+μ厚晶片也能放心搬運(yùn)的裝置陣容。低溫控制性優(yōu)異

2023-09-19

表面活性化接合裝置

新設(shè)備：表面活性化接合裝置：制造商：日本制造商，實(shí)現(xiàn)了在常溫下能得到塊狀破壞強(qiáng)度的晶圓接合。從研究開發(fā)用接合裝置到量產(chǎn)用

2023-09-15

還原接合裝置

新設(shè)備：還原接合裝置；制造商：日本制造商，用還原氣體除去氧化膜后，通過(guò)加熱·加重施加進(jìn)行接合的裝置。適用于使用金屬納米粒

2023-09-15

熱鍵合設(shè)備

新設(shè)備：熱鍵合設(shè)備：制造商：日本制造商，加熱接合裝置的特點(diǎn)：陽(yáng)極接合、共晶接合、玻璃接合、玻璃燒結(jié)、直接接合、樹脂接合、

2023-09-13

覆膜裝置

新設(shè)備：覆膜裝置；制造商：日本制造商，覆膜裝置是使用UV樹脂之類的粘合劑將晶片彼此接合的裝置。為了在真空中貼合，可以用無(wú)孔

2023-09-13

陽(yáng)極接合裝置

新設(shè)備：陽(yáng)極接合裝置：制造商：日本制造商，在Si上接合派雷克斯等玻璃。是MEMS的接合中使用最多的接合之一。最近也實(shí)現(xiàn)了低溫接

2023-09-13

高精度晶圓倒角機(jī)

新設(shè)備：高精度晶圓倒角機(jī)；制造商：日本制造商，簡(jiǎn)介：這是一款劃時(shí)代的倒角機(jī)，可以使用與樹脂結(jié)合劑砂輪相同的砂輪將AS切片晶

2023-09-12